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CVD管式炉设备由沉积温度控件、沉积反应室、真空控制部件和气源控制备件等部分组成亦可根据用户需要设计生产,CVD系统除了主要应用在碳k1体育材料制备行业外,现在正在使用在许多行业,包括k1体育电子学、半导体、光电工程的研发、涂料等领域。
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