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立式管式电炉公司采用化技术,自行研制开发的高性能高节能的新型电炉,产品具有的合理结构,广泛应用在薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、退火等新工艺领域。配合真空和气路控制组成CVD控制系统,用于气相沉积法制备石墨烯。
立式单温区1400℃管式电炉,1200度立式管能够实现在真空或气氛保护条件下对样品快速加热和淬火,50段可编程温度控制器。加热炉膛有左右两部分组成,其中上部炉膛可整体向后翻转,方便取放、观察实验物料,炉膛材料采用的多晶莫来纤维真空吸附制成,节能50%,温场均匀。电热元件采取高电阻合金丝0Cr27Al7Mo2。密封法兰采用双环密封技术,有效的提高了炉管两端的气密性。
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